晶盛机电：加速半导体装备国产化

最近，浙江晶盛机电股份有限公司喜事不断，继8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制课题正式通过国家科技重大02专项专家组验收，刚装配完成的超导磁场单晶硅生长炉又将走向市场，其中配置的超导磁场能耗更低，还可有效提高单晶硅品质，技术达到国际同类先进水平。

    浙江晶盛机电股份有限公司创立于2006年，是一家专业从事半导体、光伏设备研发及制造的高新技术企业。公司从创立之初起，就立足高起点、差异化产品创新，相继研发成功了水冷夹套技术、连续加料装置等多项国内外首创技术，实现了硅晶体生长“全自动、高性能、高效率、低能耗”的国内领先、国际先进的技术优势。2007年4月，公司自主研制成功国内首台全自动单晶硅生长炉，达到国际同类产品先进水平，打破了高端单晶炉技术长期被国外垄断的产业格局，填补了国内空白，实现了高端单晶炉的进口替代。

    “科研是我们的强项，也是我们唯一的出路。”公司董事长曹建伟介绍，公司核心创业团队来自浙江大学，创业以来高度重视研发经费与人力的投入，近三年公司合计投入研发费用1.5亿，约占近三年销售收入的8%。这几年，晶盛机电一直保持1-2年研发新一代设备的高频率，迄今公司已获得国家专利222项，另有59项控制软件获国家软件著作权，逐步形成了全自动单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、区熔硅单晶炉、蓝宝石晶体炉以及单晶硅棒切磨复合加工一体机等，广泛应用于半导体硅片、太阳能光伏、IGBT功率器件、LED光电子和蓝宝石窗口材料等新兴产业。

    经过11年高速发展，晶盛机电已成为国内技术领先、规模最大的区熔硅单晶炉、直拉硅单晶炉、高效多晶硅铸锭炉三大系列生长设备的供应商，其中多项设备打破国外技术垄断，填补国内空白。晶盛机电坚持“新材料、新装备”的发展战略，积极布局半导体和蓝宝石晶体材料领域，现已形成了从晶体生长装备，到晶体材料的研发、生产、加工为一体的大型、完整的产业布局。目前，晶盛机电已占据国内上游晶体生长装备90%的高端市场。单今年上半年，经公告的重大订单（含已经中标尚未签订合同）就已超过30亿元。

    “目前，晶盛机电正以年产1300台套晶体生长及加工设备扩建项目为契机，进一步做大做强晶体生长和加工智能化装备先进制造。”曹建伟说，“我们的目标，是全面提升半导体装备国产化水平，提升公司在半导体装备领域的全球竞争力。”