卡尔蔡司镜头供应不足 艾司摩尔EUV设备生产不顺

    在当前半导体制程已经微缩到10纳米以下之际，大家都寄望借助极紫外光微影设备（EUV）能协助制程向前发展，也使得摩尔定律（Moore’sLaw）能够再往下延伸。不过，就目前生产EUV设备的艾司摩尔（ASML）来说，因为其制造的困难度，已经积压了大量订单在手上。现在，有国外媒体指出，之所以使得艾司摩尔的EUV设备生产不顺的主因，就是来自于设备中光学镜头供应商蔡司（CarlZeiss）供货进度跟不上需求所致。
 
    外媒报导指出，艾司摩尔EUV的光学镜头是德国蔡司公司所生产。但是，由于蔡司的镜头供货量不足，导致艾司摩尔的EUV极紫外光微影设备生产进度缓慢。据了解，7月份艾司摩尔曾经报告指出，至今已经积压了多达21台EUV的订单，每台EUV订单成本高达1.5亿美元。而2017年年底前最多也就只能交付8到9台EUV设备。

    报导进一步指出，根据外界预估，随着三星和台积机电都宣布将在2018年试生产内含EUV技术的圆晶制程，使得2017年EUV设备的销售金额预计可达到14.82亿美元，这比2016年的10.36亿美元足足成长了43%，而且这个数字在2019年还将会进一步上升到30亿美元。

    目前，艾司摩尔的客户都是一些半导体大厂，比如台积电，三星，英特尔（Intel）等，如果拿不到EUV设备，新世代制程的生产计划必定会受到影响，任谁也不想看到这样的情况发生。所以，艾司摩尔在生产还将要再加把劲的努力。据了解，目前EUV设备的生产，现在还面临一些问题需要调整。除了来自蔡司的镜头的供应不足之外，还有设备上的芯片保护膜仍需要改进。

    现阶段，在三星和台积电都宣布将试产内含EUV技术在内的圆晶，反观半导体大厂Intel的态度则是不急不徐。虽然，Intel不是当前第一个采用EUV技术量产圆晶的企业，但将来Intel或许会是购买最多的EUV设备的公司。

    因为，2017年三星的资本支出已经达到了170亿美元，Intel则是120亿，台积电也有100亿元，最少的是格罗方德，只有25亿美元。但是，所有厂商在EUV部分的花费总共才14.82亿元。因此，预估在2019年这个数字会进一步上升至30亿美元之际，Intel为加速自己的步伐，并与竞争对手相抗衡，将会比较大程度的采购EUV设备来强化自己的技术，这就是其关键手段之一。